一种超大型细晶钼平面靶的制备方法,采用纯度>99.95%的钼粉制得,其中,钼平面靶的长度>450㎜,宽度>320㎜,厚度>75㎜,制备方法是:取钼粉装入胶膜内,静压成型,后置于中频炉,氢气气氛下烧结成板坯后,置入模具中,锻打板坯模具,后置入回火炉,退火,形成细晶组织,精细加工、清洗、干燥后制得钼平面靶。本发明克服了烧结和锻打的工艺缺陷,工艺简单,易工业化生产控制,降低污染,成本低,质量提高,生产效率极大提高。
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