本发明公开了一种采用冷等静压和液相烧结制备W-10Ti合金靶材的方法,该方法以纯度高于99.9%的W粉和纯度高于96.7%的TiH2粉为原料,先对纳米级W粉与微米级W粉的级配,将级配后的W粉与TiH2粉进行混粉;然后在压力为210-260MPa,保压时间为3-6min的条件下进行压坯,再对压坯进行真空无压烧结,最后将W-Ti合金机加工成靶材成品即可。本发明与现有技术相比,采取液相烧结,烧结过程中不附加任何压力,具有可控尺寸大的优点且所制备的合金靶材形成了相对单一的富钨固溶体相、致密度较高。
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