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铬铝硼合金复合靶材及其制备方法

1040   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:01:02
本发明公开了一种铬铝硼合金复合靶材及其制备方法，该复合靶材具有双层结构，上层以铬铝硼合金靶材为基体，底层是铜背板，上层结合于底层上；铬铝硼合金靶材按原子百分比由以下成分组成：Cr：19‑70％，Al：20‑80％，B：0‑30％且B不为0；该制备方法采用CrB2合金粉为原料，包括以下步骤：CrB2合金粉的制备、CrAlB合金粉的制备、CrAlB锭坯的制备、预处理和CrAlB‑Cu复合靶材的制备。本发明制备的CrAlB合金靶材纯度高，致密度高，组织均匀无偏析，导热性能和塑性都有改善；复合靶材在高的溅射功率或功率密度下使用时，靶材装夹部位能承受机械应力和热应力作用，既不脆性断裂也不受力弯曲翘曲。
声明：
“铬铝硼合金复合靶材及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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