本发明涉及一种低压超大电流整流管制造方法,属于半导体器件制造技术领域,本发明通过采用NN+外延片作为加工材料进行P型扩散,由于NN+外延片作为加工材料形成PN结平缓,高阻层可精确控制,体电阻小,压降低,承受浪涌冲击电流大,从而提高解决薄片加工易碎片的难题,提高产品的等级合格率,同时还可提高产品的可靠性;基区设计时将相关数据填入对应的公式,使所取得的耐压与压降找到最佳平衡点,将此过程编成程序通过电脑可以迅速找到最佳点,提高了单位面积电流密度,本发明可使18000A/200~400V的整流管峰值通态压降在12000A条件下可小于1.08V,反向阻断电压在200~400V,本发明电流密度更大、电流容量更强、可靠性更高,性能优越、使用成本更低,填补国际空白。
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