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高世代钼靶材的生产方法

753   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 15:00:02
本发明公开了一种高世代钼靶材的生产方法,该生产方法包括:1、将两种粒径范围不同的钼粉在真空条件下混合,过筛后得到混合粉料;2、将混合粉料进行等静压处理;3、烧结处理;4、热轧处理;5;真空退火;6、水切割、铣削加工、磨床加工。通过该方法得到的钼靶材的长度可达3500mm以上,厚度≤30mm,宽度≤600mm,平面度小于0.08mm,钼含量≥99.97%,该生产方法的生产效率高,所得高世代钼靶材的致密度≥99.5%,钼靶材内部组织无气孔、裂纹、分层、夹杂等缺陷,其表面粗糙度<0.6um,平均晶粒≤80um,晶粒均匀,可作为G10.5代线平面显示器生产的高纯钼靶;本发明提供的高世代钼靶材的生产方法,制备方法简单,生产成本较低,成品率高,有利于工业化生产。
声明:
“高世代钼靶材的生产方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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