本发明涉及研磨抛光技术领域,尤指一种针对超硬材料进行研磨加工的柔性抛光垫;主要由耐高温柔性纤维垫、超硬复合陶瓷薄片和柔性树脂组成,在耐高温柔性纤维垫上方原位烧结一层刚性超硬复合陶瓷,再用柔性树脂渗透于纤维垫和超硬复合陶瓷薄片的缝隙和孔洞中,待树脂固化后,复合陶瓷被固定在柔性纤维垫上;最后,将覆盖在复合陶瓷表面的高分子材料去除,使陶瓷表面露出,获得柔性抛光垫,原位烧结的超硬复合陶瓷薄片具有较高的研磨去除效率,另外,由于薄片位于柔性纤维垫和柔性树脂上,当遭遇较强的研磨撞击时,纤维垫和树脂起缓冲作用,避免陶瓷薄片与加工工件的表面发生硬接触,降低划伤几率。
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