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钒钨合金靶材及其制备方法与应用

845   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:00:01
本发明提供了一种钒钨合金靶材及其制备方法与应用，以质量百分含量计，所述钒钨合金靶材的组分包括：钨≥60％，余量为钒；所述制备方法包括以下步骤：(1)按照配方量混合钒粉和钨粉，球磨后得到混合粉末；(2)将步骤(1)所得混合粉末进行烧结温度为1300‑1700℃，压制压力为60‑350T的真空热压烧结处理，得到钒钨合金靶坯；(3)将步骤(2)所得钒钨合金靶坯进行机加工，得到钒钨合金靶材；其中，步骤(2)所述真空热压烧结处理包括顺次进行的第一保温处理、第二保温处理与保温保压处理。所述发明通过优化烧结工艺改善了靶材内部组织结构，提高了靶材的纯度和致密度，进而提升了溅射稳定性和镀膜质量。
声明：
“钒钨合金靶材及其制备方法与应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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