本发明属于材料加工技术领域,具体涉及一种
铝合金靶材及其制备方法。所述的铝合金靶材,以相应原子百分比的铜、硅和
稀土元素为原料,制备铝合金靶材,改善所述铝合金靶材的导电性、抗腐蚀性能和抗氧化性能。具体地,铜的加入,使所述铝合金靶材的导电性能提高,硅的加入改变所述铝合金靶材的热膨胀系数,消除薄膜中产生的压缩残余应力,从而消除膜层起包现象,改善溅射镀膜膜层的表面质量。本发明的铝合金靶材的制备方法,先以全部的铜、硅、稀土元素和部分铝混合熔融制成母合金,所述母合金的制备过程使铜、硅和稀土元素更好地与铝熔融混合,再以熔融混合好的铝‑硅‑铜‑稀土合金与剩余部分的铝熔融铸锭,以解决硅、铜难熔融及成分均匀等问题,获得成分均匀的铝合金靶材。
声明:
“铝合金靶材及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)