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氧化铝靶材的制备方法

1039   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-18 14:59:02
本发明提供了一种氧化铝靶材的制备方法，属于靶材领域。本发明将靶材原料经混合球磨、喷雾干燥、压制成素坯、冷等静压压制、升温脱脂烧结以及升温有氧烧结后，先进行降温有氧烧结，再进行升温烧结，这样得到的氧化铝靶材密度更大，且无需进行真空烧结，对设备要求低，易于实现批量生产，并且能生产大尺寸平面靶材，如1m×1m的靶材，所得大尺寸平面靶材不易出现弯曲和开裂的问题。
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“氧化铝靶材的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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