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新型管状ITO靶材的制备方法

707   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:59:02
本发明公开了一种新型管状ITO靶材的制备方法,其特征在于:所述ITO粉末以铟锭和四氯化锡为原料,通过工序制备得到重量百分比In2O3:SnO2=96:3、纯度≥99.98%、粒度为0.7~1.5μm的ITO,所述ITO粉末通过化学共沉淀、脱水、煅烧及球磨的工序制备而成,通过化学共沉淀、脱水、煅烧及球磨等现有技术对原料进行处理得到ITO粉,再通过对ITO粉进行真空烧结、降温制备得到ITO靶材,方法简单,操作方便,便于推广使用,从而在制备中不容易出现管状ITO靶材组织的偏析现象,晶粒不是很微细均匀,纯度也不是很高的问题,并且具有尺寸大型化制作、高密度化、符合多种领域的使用,这样提高了管状ITO靶材的领域使用,从而具有很好的市场竞争力度,不容易被市场所淘汰。
声明:
“新型管状ITO靶材的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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