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高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法

1115   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:59:02
本发明公开了一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法，属于化学功能材料领域。该制备方法以三异丙醇氧钒为溶质制备前驱液，将所得前驱液涂于蓝宝石衬底制备前驱物薄膜，最后将前驱物薄膜置于真空环境中烧制而成。本发明在液相法的基础上，通过控制真空烧结条件制备二氧化钒薄膜，所获得的薄膜均具有良好的生长取向，相变温度为60℃左右，相变前后电阻率的变化在三个量级以上；且制备工艺简单，适合大范围推广。
声明：
“高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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