本发明公开了一种高钪含量铝钪合金靶材及其制备方法。其中方法包括:选取金属铝和金属钪,并配料;将金属钪熔化,然后将金属铝分多次逐步加入到金属钪中熔炼,多次熔炼后冷却得到铝钪合金;将所述铝钪合金进行球磨,真空干燥得到合金粉,然后经预压制和真空烧结得到铝钪合金靶坯;将得到的铝钪合金靶坯进行热变形加工,得到铝钪合金靶材,所述热变形加工包括热锻、热轧、以及精加工。采用本发明使得铝钪合金靶材组织和化学成分更均匀,相对密度更高,达到99.0%以上,晶粒尺寸更细小,延展性更高;采用本发明还减少了缩孔、疏松缺陷;节省了原料成本;解决了合金脆性大,不能加工靶材的难题;可满足大规模集成电路用配线材料的需求。
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