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溅射镀膜用钼旋转靶材的制造方法

967   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:58:54
本发明公开了一种溅射镀膜用钼旋转靶材的制造方法，包括：将高纯钼粉末均匀地填充在管状模具内，加压成型制备成管状粉质钼坯；将管状粉质钼坯放入冷等静压机压制，等静压致密后得到钼坯；将成型的钼坯放入真空烧结炉内进行烧结，将烧结后的钼坯放入烧结炉中，通入氢气保护，加热、保温后取出进行反复锤锻；将锻打后的钼坯放入真空退火炉内进行退火，然后钼坯随炉冷却至室温；对退火后的钼坯加工后得到钼旋转靶材。本发明得到的钼旋转靶材具有相对密度高、加工性能优良、靶材内部晶粒组织均匀细小、无组织缺陷的特点。
声明：
“溅射镀膜用钼旋转靶材的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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