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高纯度钽钌合金靶材及其制备方法

1013   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:58:54
本发明提供一种高纯度钽钌合金靶材及其制备方法，将市售的纯度为99.9％的钌粉和钽粉分别经真空高温升华提纯至纯度大于99.995％的钌粉和钽粉，经球磨混合后，经冷等静压压成块状，真空烧结熔炼，得到高纯度钽钌合金锭，然后高纯度钽钌合金锭经横向热锻，退火处理，热轧，冷轧，结晶退火处理，得到高纯度钽钌合金靶材。本发明的钌粉和钽粉的提纯工艺简单，提纯纯度高，深度去除Ca、Cr、Co、Cu、Cd、Cl、Fe、K、Li、Mg、Na、Ni，制备的靶材成分均匀、纯度高、晶粒细小，氧含量低，面积大，厚度薄。
声明：
“高纯度钽钌合金靶材及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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