本发明公开了一种高密高纯碳化硅制品的制备方法,包括:将碳化硅粗粉、碳化硅细粉、低聚
硅烷和纤维素衍生物进行超声处理,将超声后的混合料加水在捏炼机中捏炼成可塑泥料;对所述可塑泥料进行喷雾造粒,得到碳化硅造粉粒;对所述碳化硅造粉粒进行干压一次成型,成型压力为120~140MPa,得到湿坯,经干燥后得生坯;在惰性气体保护下,将生坯置于真空烧结炉进行烧结反应,烧结温度为1500℃,烧结时间为0.5~3h,得预烧结体;在惰性气体保护下,将所述预烧结体置于真空高温烧结炉中进行再次升温烧结,出炉后得高密高纯碳化硅制品。本发明制备的碳化硅制品具有耐高温、高纯度、高密度、成本低廉、耐腐蚀、使用寿命长的优点。
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