本发明公开了一种生产低氧钼铌合金靶材的方法,包括以下步骤:1、将钼粉放在真空烧结炉中进行热处理;2、将铌金属粉与碱金属卤化物MX均匀混合得到混合粉;3、将步骤1中得到的钼粉与步骤2得到的混合粉放入V型混料机中混合,放入胶套后通过冷等静压压制成型;4、将压锭放在真空‑氢气两用烧结炉中进行热处理。本发明相对于现有技术,该方法除氧成本低,效果好,所得钼铌合金靶材杂质、氧含量低,性能优异。
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