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碳化硅复合材料及制备方法

608   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:58:54
本申请公开了一种碳化硅复合材料制备方法，包括：取碳纳米管和碳化硅粉，二者固体成份比例范围为2：98到5：95；将碳纳米管配制成浓度3％‑10％的碳纳米管水溶液；将碳化硅粉投入所述碳纳米管水溶液，球磨制成碳化硅混合浆料；将所述碳化硅混合浆料制成碳化硅复合坯体；将所述碳化硅复合坯体真空烧结，制成碳化硅复合材料。一种碳化硅复合材料，由碳纳米管和碳化硅制成，其中碳纳米管的固体含量为2％～5％(质量)，其余为碳化硅。本发明解决了半导体用碳化硅陶瓷机械加工时崩瓷问题，进一步提高了产品合格率和碳化硅陶瓷韧性，增强了碳化硅材料抗弯强度。
声明：
“碳化硅复合材料及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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