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碳化硅复合材料及制备方法

606   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:58:54
本申请公开了一种碳化硅复合材料制备方法,包括:取碳纳米管和碳化硅粉,二者固体成份比例范围为2:98到5:95;将碳纳米管配制成浓度3%‑10%的碳纳米管水溶液;将碳化硅粉投入所述碳纳米管水溶液,球磨制成碳化硅混合浆料;将所述碳化硅混合浆料制成碳化硅复合坯体;将所述碳化硅复合坯体真空烧结,制成碳化硅复合材料。一种碳化硅复合材料,由碳纳米管和碳化硅制成,其中碳纳米管的固体含量为2%~5%(质量),其余为碳化硅。本发明解决了半导体用碳化硅陶瓷机械加工时崩瓷问题,进一步提高了产品合格率和碳化硅陶瓷韧性,增强了碳化硅材料抗弯强度。
声明:
“碳化硅复合材料及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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