一种从晶硅切割废砂浆中提取高纯度碳化硅的方法,1)将废砂浆经滤袋过滤后引入到调配罐中,在调配罐中加入调配液,搅拌、存贮;2)将存贮后的废砂浆送入1#离心机,得到一级滤液和一级滤砂;3)将一级滤砂送入搅拌罐,加水搅拌;4)在搅拌罐中加入调配液,搅拌、存贮,送入2#离心机,得二级滤液和二级滤砂;5)将二级滤砂送入搅拌罐,加水搅拌,回收硅粉;6)将一级滤液和二级滤液混合引入搅拌罐,加入均化剂搅拌,搅拌后送入压滤机,滤液用于硅片切割生产线,滤饼装袋进库;7)将滤饼粉碎,送入微波处理设备;8)将微波处理后的滤饼放入烘箱中烘干,加入过量碳源,放入球磨罐中,球磨后得到混合粉体;9)在真空烧结设备中使硅与碳完全反应;10)在空气中,将反应产物加热,烧掉残留碳,得到高纯碳化硅。
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