本发明提供一种硫化镉靶材制备方法,将硫化镉粉体装入模具中预压成型,得到预压后的硫化镉粉体;将所述预压后的硫化镉粉体装入热压烧结炉内,热压真空烧结,得到硫化镉靶材。本发明硫化镉靶材的制备,烧结与压制是在同一台设备,同一个工艺中同时进行的,中间环节和操作步骤少,对靶材和环境的污染小;使用高纯硫化镉粉体作为原料,不需要用到氯化镉做助溶剂,靶材纯度高。本发明还提供一种硫化镉靶材制备装置。
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