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钼钛合金溅射镀膜靶材的制备方法

885   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:58:02
本发明提供了一种钼钛合金溅射镀膜靶材的制备方法，包括将单组份的钼粉与钛粉形成的二元合金粉末或者钼粉、钛粉以及镍粉形成的三元合金粉末过筛处理的步骤、冷等静压步骤、真空烧结步骤、锻造加工步骤、退火处理步骤、机加工步骤、洁净处理步骤，制得钼钛合金溅射镀膜靶材；本发明通过冷等静压、真空烧结及锻造加工步骤，实现致密度高、耐腐蚀性能好且导电性能好的高性能钼钛合金的制备，制得实际密度趋近或者等于合金的理论密度，且平均晶粒尺寸≤50um的钼钛合金。
声明：
“钼钛合金溅射镀膜靶材的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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