合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 冶金技术

> 真空冶金技术

> 采用电子束蒸发技术制备Ga2O3光电薄膜的方法

采用电子束蒸发技术制备Ga2O3光电薄膜的方法

962   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:58:02
本发明属于一种光电薄膜制备技术领域，具体涉及一种采用电子束蒸发技术制备Ga2O3光电薄膜的方法。本发明提供的技术方案是：通过Ga2O3高纯（99.995%）粉体制胚并真空烧结，再粉碎成粒后作为起镀材料，采用e型枪对起镀材料进行直接真空蒸发，使起镀材料气化成分子或原子沉积在衬底材料上，并通过控制沉积速率和沉积氛等关键工艺参数，最终获得大面积高纯度的Ga2O3薄膜。本发明方法制备成本低、重复性好、工艺要求简单、可控性好，所获得的薄膜呈现各向同性的非晶结构，在可见‑近红外范围透过较高，吸收较小，不仅适宜于光学应用，并且通过后退火处理，使其晶化后具有紫外光电探测和气敏等特性。
声明：
“采用电子束蒸发技术制备Ga2O3光电薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
真空冶金
上一个：稀土掺杂钇铝石榴石透明陶瓷的制备方法
下一个：铌合金高温抗氧化硅化物涂层及其制备方法

与 “采用电子束蒸发技术制备Ga2O3光电薄膜的方法” 相关技术

▪ 降低铝电解阳极效应的控制方法
▪ 稀土绿色萃取分离技术
▪ 年产250吨电子级低氧超高纯钛
▪ 低成本太阳能多晶硅制备技术
▪ 用于负极材料的纳米硅粉制备及产业化应用技术研发
▪ 具有除铁功能的粉碎机
▪ 具有防尘效果的振动筛下料装置
▪ 风机生产用自动冲拔一体机
▪ 粉碎机出料仓除尘结构
▪ 活性炭吸附过滤水循环利用装置

相关真空冶金设备推荐

筒型外滤式真空永磁过滤机
水解蛋白液压力喷雾干燥塔
刮刀卸料离心机
十堰脱水机
离心喷雾造粒干燥设备
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪降低铝电解阳极效应的控制方法
▪稀土绿色萃取分离技术
▪年产250吨电子级低氧超高纯钛
▪低成本太阳能多晶硅制备技术
▪用于负极材料的纳米硅粉制备及产业化应用技术研发
▪具有除铁功能的粉碎机
▪具有防尘效果的振动筛下料装置
▪风机生产用自动冲拔一体机
▪粉碎机出料仓除尘结构
▪活性炭吸附过滤水循环利用装置

报名参会
更多+

2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024年08月07日 ~ 09日
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024年08月08日 ~ 10日
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
2024年08月13日 ~ 15日
2024中国铅锌产业科技大会
2024中国铅锌产业科技大会
2024年08月23日 ~ 25日
第十七届东亚资源再生技术国际会议
第十七届东亚资源再生技术国际会议
2024年11月01日 ~ 04日

报告下载

1 锂资源综合利用关键技术
下载:155
2 绿色高效提炼稀有金属的研究
下载:122
3 我国主要有色金属湿法冶金技术现
下载:118
4 铜冶炼过程砷的控制和无害化处置
下载:109
5 矿相重构锂云母矿以同步提取锂铷
下载:100
6 铜冶金与钢铁基于双碳的学科融合
下载:99
7 赤泥脱硫脱硝、回收铁铝及固化重
下载:97
8 硫代硫酸盐绿色提金及铜冶金固废
下载:95
9 钒钛磁铁矿低温还原冶炼技术
下载:91
10 双碳战略背景下的我国铜工业
下载:90
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1钼污染处理研究进展
2从红土镍矿中回收有价金属及酸再生循环的方法
3生产磷酸铁的方法
4硫酸锰溶液除杂方法
5从镍铁合金中高效分离镍和铁的方法
6氧化镍矿熔融还原硫化生产低冰镍的方法
7用铜精矿直接制取硫酸铜和阴极铜的方法
8电积镍生产线萃余液除油工艺
9有色金属冶炼矿石清洗用的污泥收集装置
10冶金行业的机器人综合取制样系统及方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记