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低氧钽靶材及其制备方法

1026   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:58:01
本发明提供了一种低氧钽靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)将钽源置于氢化装置并抽真空，通入氢气加热，待氢化装置内压力不再下降时停止加热，得到氢化钽源；(2)将步骤(1)所述氢化钽源依次进行破碎和热处理后，得到脱氢钽粉；(3)将步骤(2)所述脱氢钽粉依次进行冷等静压、真空烧结、脱气处理和热等静压，得到低氧钽靶材。本发明将脱氢钽粉采用冷等静压、真空烧结和热等静压相结合的方式，大大降低钽靶材的氧含量，钽靶材的氧含量低于100ppm，同时保证了钽靶材的纯度和致密度，致密度高达99.9％，纯度高达99.9999％，具有较好的工业应用前景。
声明：
“低氧钽靶材及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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