本发明公开了一种碲硒砷镉化合物/靶材及制备方法,由摩尔比为(60‑90):(0.999‑39.99):(0.001~0.01)的碲化镉颗粒、碲硒镉颗粒和砷化镉颗粒研磨成粉、混匀,将混匀的物料装入
石墨坩埚中,或者将混匀的物料放入模具中室温压片成靶材坯,压片成形的靶材坯装入石墨治具内,石墨治具放入真空烧结炉内,在真空烧结炉内压实,真空状态加热烧结,自然降温至室温,打开真空烧结炉即得到碲硒砷镉化合物/靶材。上述制备方法能够适应市场规模化生产需求,工序简单、环境友好。制备出的碲硒砷镉化合物结晶度好,制备出的碲硒砷镉靶材相对密度高于90%(晶粒尺寸小于300nm)。
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