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化学气相沉积固态先驱体供给设备

944   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:57:03
本发明属于复合材料制造技术,涉及一种化学气相沉积装置的改进。它包括惰性气体管路1、进气管12、可编程控制器6,其特征在于,有一个封闭的加热装置8,混合罐10安装在加热装置8的内腔中;有一个由载气管路5、气体质量流量控制器3、固态蒸发器9、压力表4和连接管14组成的气路,固态先驱体放置在固态蒸发器9内。本发明实现了化学气相沉积过程的全自动控制;提高了生产效率和产品质量。
声明：
“化学气相沉积固态先驱体供给设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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