本实用新型涉及高真空油扩散泵,具体地说是一种五级金属直腔型高真空 油扩散泵。它包括泵体,设置在泵体内泵芯、油室和喷射嘴,位于泵体外面、 底部的加热器;泵体为直容腔;泵芯包括一级导流管及其一级喷嘴、二级导流 管及其二级喷嘴、三级导流管及其三级喷嘴、四级导流管及其四级喷嘴,二级 导流管、三级导流管和四级导流管与油室连接,一级导流管装在二级导流管的 上面;二级喷嘴、三级喷嘴和四级喷嘴的间隙为固定间隙。它结构简单,制作 容易,显著提高高真空油扩散泵的抽气速率、拓宽抽气范围,气密性高,焊接 变形小,提高工作效率;能获得10-2~10-6Pa高真空和超高真空环境。广泛用于 航空航天、原子能、真空冶金、热处理、镀膜、化工等领域。
声明:
“五级金属直腔型高真空油扩散泵” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)