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卧式碳化硅真空烧结炉

667   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:57:02
本实用新型公开了一种卧式碳化硅真空烧结炉，它包括水平设置在两个底座上的外主炉体，设置在外主炉体内部的内炉体，以及通过连接件密封扣装在外主炉体两端端口处的密封门；所述外主炉体整体为夹套式结构，外主炉体的上、下两侧分别设置有进水口和出水口，在外主炉体后部以及前部中心位置分别设置有抽真空连接口和负压真空表；在外主炉体底部均布设置有多根用于支撑连接内炉体的连通管；所述进水口连接有筒式过滤器，筒式过滤器通过管路与设置有循环水泵的水箱的出水口连接，出水口通过管路与水箱的回水口连接；所述抽真空连接口与抽真空泵连接。
声明：
“卧式碳化硅真空烧结炉” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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