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高真空烧结炉

702   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:57:02
本实用新型涉及一种高真空烧结炉，包括炉体、风机、真空阀、抽气泵和小机械泵。该真空阀包括主阀；该抽气泵包括扩散泵、罗茨泵和滑阀泵。该风机、该炉体和该主阀通过管道依序连接。该扩散泵的进口与该主阀的第一出口通过管道连接，并且，该扩散泵、该罗茨泵和该滑阀泵通过管道依序连接。该小机械泵的进口通过管道与该扩散泵的出口连接。本实用新型的高真空烧结炉中的小机械泵防止了扩散泵、罗茨泵和滑阀泵在停止工作后扩散泵中的油蒸汽倒灌进入炉体内，保障了炉内烧结环境的纯度，进而提高了高真空烧结炉的烧结质量。
声明：
“高真空烧结炉” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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