本实用新型公开了一种陶瓷高温真空烧结炉真空系统,包括机械泵、罗茨
真空泵和粉尘过滤装置;所述粉尘过滤装置的入口端经过高真空挡板阀与真空烧结炉连通,粉尘过滤装置的出口端通过真空管路与罗茨真空泵的进气口连通,罗茨真空泵的出气口通过电磁放气阀与机械泵的入口连通。通过在陶瓷高温真空烧结炉真空系统中罗茨真空泵的进气口处安装一套粉尘过滤装置,使原来吸入罗茨真空泵内的陶瓷粉尘被粉尘过滤装置过滤掉,使吸入罗茨真空泵内的陶瓷粉尘颗粒大幅减少,提高了罗茨真空泵的使用寿命,降低了生产成本。
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