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半导体加工的真空烧结装置

800   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:57:01
本发明提供了一种半导体加工的真空烧结装置，包括安装台和铰接安装在所述安装台上的炉盖，所述安装台中沿横向从左至右依次设置有预热部、真空烧结部和冷却部；所述安装台的左侧设置有进料机构，右侧设置有出料机构，所述真空烧结装置还包括输送料盘在所述预热部、真空烧结部和冷却部之间移动的料盘转运机构，通过依次设置的预热部、真空烧结部和冷却部，以完成流水线式连续的预热、真空烧结和冷却工作，工作周期短，效率高；同时通过支撑杆的方式来承托转运料盘，实现了物料在各工位间的快速流转和连续作业，相较于通过夹持装置夹持料盘进行转运的方式，有效的节约了各工位上方的空间结构简单可靠，制造成本低。
声明：
“半导体加工的真空烧结装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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