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半导体真空烧结机构

1024   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:57:01
本实用新型提供了一种半导体真空烧结机构，包括炉体和铰接安装在所述炉体上的炉盖，所述炉盖可做盖合或打开状态的切换；还包括沿横向从左至右依次设置的预热部、真空烧结部和冷却部，通过炉盖与炉体的铰接式结构设计，制造成本低，便于装拆和炉体的维护，同时通过依次设置的预热部、真空烧结部和冷却部，以完成流水线式连续的预热、真空烧结和冷却工作，工作周期较短，制造成本较低，预热部多个预热模块的设置可以根据工艺需求设置预热温度、升温速度和升温时间；真空烧结部中活动式罩壳的设置可以在真空烧结过程中与支撑台形成具有一定负压的空间进行烧结，并在真空烧结完成后远离支撑台以便进行物料的输送。
声明：
“半导体真空烧结机构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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