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高温反应烧结炉

1146   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:56:01
本实用新型涉及一种高温反应烧结炉,尤其涉及一种半导体、冶金及其它行业的热处理真空工艺处理中应用的高温反应烧结炉。其结构由炉体、反应室、送料装置与旋转装置和废气处理装置组成;本实用新型所述的高温反应烧结炉,在原有炉体结构中增加了反应室,反应室位于炉体内部,与炉腔分开;可以节约工艺气体,不会在炉壁上产生结晶,影响高温烧结炉的性能。在送料装置上增加了旋转装置,使工件在处理过程中持续旋转,让工件受热均匀,与工艺气体接触均匀,提高产品质量。又增加了废气处理装置,对产生的废气进行处理,减少对环境制成的污染。
声明：
“高温反应烧结炉” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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