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电子束高效、连续熔炼提纯多晶硅的设备

1148   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:54:02
本实用新型属于用物理冶金技术提纯多晶硅领域。一种电子束高效、连续熔炼提纯多晶硅的设备,加料真空闸室安装与真空室相连通,出料真空闸室与真空室相连通,收集室与出料真空闸室相连通;加料真空闸室顶部带有装粉盖,装粉盖下部安装上装粉桶,上装粉桶出粉口对应落粉真空室门,落粉真空阀门连通下装粉桶,下装粉桶出料口下方放置硅块,硅块放置在坩埚中,坩埚出料口与倾斜铜槽上端连通,倾斜铜槽底端连通收集筒,收集筒底部出口对应落料真空阀门,落料真空阀门连通出料真空闸室,出料真空阀室内装有冷却筒,冷却筒出料口连通收集室;真空室上方的电子束流对准硅锭。本实用新型结构简单,采取连续加料和连续出料的熔炼方式,能耗小,成本低。
声明：
“电子束高效、连续熔炼提纯多晶硅的设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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