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真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备

791   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:52:02
本实用新型属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备。该设备中水冷盘活动安装于真空腔室底部,石墨板置于水冷盘顶端,石墨支柱一端通过孔与石墨板嵌套连接,另一端与石墨托盘嵌套连接,坩埚置于石墨托盘之上,石墨发热体套于坩埚外围,碳毡保温桶套于石墨发热体之外碳毡保温盖上开有孔,置于碳毡保温桶顶端,石英管活动安装于真空腔室顶端,上端通过阀门与真空装置活动密封连接,真空装置上安装有真空计。本实用新型的设备是在原有定向凝固设备的基础之上增加了石英管、通气管道和真空装置,设备改造安装方便,操作简单,能有效去除铸锭尾部富集的杂质,节约了生产周期和成本,适用于工业化大规模生产。
声明:
“真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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