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单晶硅棒端面研磨盘

984   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:51:54
本实用新型公开了单晶硅棒端面研磨盘，它包括可随旋转主轴（15）转动的中间盘（12）、与中间盘固定相连的上模板（6）和下模板（7）、以及固定设置在下模板上的研磨层（9），所述中间盘内设置有可通入研磨液的贮液腔（13），贮液腔与进液管（11）上端相通，进液管下端穿过上模板和下模板与研磨层上的分液腔（8）相通，所述研磨层用抛光布制成。研磨的单晶硅棒端面受速高转动研磨，其端面上温度分布均、散热快，热应力小，不会产生微小裂纹和其他损伤，因而提高了单晶硅棒端面研磨质量，提高了研磨效率，又降低了研磨成本。本实用新型结构紧凑、操作方便，主要用于单晶硅棒端面研磨外，还可用于多晶硅棒端面、陶瓷、冶金粉末的研磨。
声明：
“单晶硅棒端面研磨盘” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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