本实用新型涉及一种多级罗茨式无油
真空泵,该泵由主从动轴、主从动转子、两端侧盖、泵体、级间隔板、主从动齿轮构成,其中泵体采用两片分体结构,两片泵体中有各自的水冷夹层,泵体随转子级数不同分有多个相对独立的泵腔,两极泵腔之间有两片分体式的级间隔板分开,并通过级间气流通道相连,转子端面形成采用三叶形,本实用新型与已有技术比较有如下优点:工作时经过逐级压缩,增大压缩比提高极限真空度,节约能源,在抽速相同的情况下减小了泵的体积,同时降低了气流脉动冲击,减小噪音,并且实现直排大气,不需要接前级泵即可工作,在抽气过程中可保持真空环境不受污染,适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。
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