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磁控溅射用镶嵌靶材

1069   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:51:25
本实用新型涉及一种靶材，具体涉及一种磁控溅射用镶嵌靶材，包括基板，基板与冷却背板相连，圆柱状嵌体嵌入到基板和冷却背板的内部，圆柱状嵌体对称设置在基板上表面横向中心线的两侧，基板和冷却背板上设置有台阶孔。本实用新型结构简单，易于加工，节约材料，成本低，并可达到熔炼或粉末冶金靶材相同的溅射效果。
声明：
“磁控溅射用镶嵌靶材” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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