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用于气瓶MOCVD沉积镍的油浴装置

638   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:51:24
本实用新型公开了一种用于气瓶MOCVD沉积镍的油浴装置，属于羰化冶金生产领域，解决了加热温度的不均匀导致的镍层厚度的不均匀的问题。本实用新型包括串联在导热油管道上的气瓶加热室、第一导热油泵和导热油加热器，气瓶加热室内安装有至少一个待沉积气瓶。本实用新型利用导热油不断循环对气瓶加热室内的多个气瓶同时进行加热，可实现气瓶的MOCVD均匀沉积产品的批量生产，生产效率高；本实用新型通过油浴对气瓶进行均匀加热，使气瓶中所形成的镀镍层均匀、致密、光滑，能够充分满足气瓶内部的洁净度要求，且其中所形成的镀镍层杂质含量低，可满足特种气体的使用需求。
声明：
“用于气瓶MOCVD沉积镍的油浴装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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