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旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的设备

876   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:51:13
本实用新型属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的设备。该设备由水冷盘活动安装于真空腔室底部,石墨板置于水冷盘顶端,石墨板上开有孔,石墨支柱一端通过孔与石墨板嵌套连接,另一端与石墨托盘嵌套连接,坩埚置于石墨托盘上,石墨发热体套于坩埚外围,碳毡保温桶套于石墨发热体外,碳毡保温盖上开有孔,置于碳毡保温桶顶端,感应线圈套于碳毡保温桶外,吹气管路活动安装于真空腔室顶端,吹气管路的吹气口位于坩埚正上方中心位置。本实用新型的设备是在原有定向凝固设备的基础之上增加坩埚旋转和吹气的功能,设备改造安装方便,操作简单,能有效去除铸锭尾部富集的杂质,节约了生产周期和成本,适用于工业化大规模生产。?
声明:
“旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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