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活化渣剂除硼的方法及其装置

1018   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:51:06
一种活化渣剂除硼的方法及其装置，属于半导体材料及冶金领域。所述装置设有罗茨泵、炉底座、中频感应线圈、保温层、石墨坩埚、搅拌器和升降装置。方法：将原料硅从进料口投入石墨坩埚中，启动罗茨泵抽真空，启动中频感应电源加热，待温度升至1500℃，使硅块全部熔化；向炉腔内充入惰性气体，使温度保持在1550～1650℃，加入渣剂，启动搅拌器，完成第一次造渣；提高中频感应电源功率，使炉腔内温度达到1700～1800℃，打开进料口，第一次投入渣剂活性成分，抽真空，启动搅拌器，通入惰性气体，完成第二次造渣；待造渣完成后，将硅液浇注到承接坩埚中，静置冷却，取出硅锭，得到提纯后的低硼高纯硅，完成活化渣剂除硼。
声明：
“活化渣剂除硼的方法及其装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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