制备(Ti,Al)BN陶瓷基非晶-纳米晶耐磨耐蚀复合涂层的工艺,步骤为:首先进行双阴极等离子溅射沉积;然后进行离子氮化;溅射的靶材的种类:以热等静压工艺制备的成分质量配比为Ti:B:Al=6:3:1
粉末冶金烧结板;工件材料的种类:钛合金。本发明利用双阴极等离子溅射技术,通过调整靶材的成分和气体之间的比例,实现了原位生成(Ti,Al)BN非晶-纳米晶复合涂层。简化了制备工艺,提高了涂层整体性能。
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