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利用射频磁控制备镁铝复合板的方法

568   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:51:01
本发明属于轻质合金技术领域，具体涉及一种利用射频磁控制备镁铝复合板的方法，包括：(1)基体准备：将清洗后的镁合金基体放入射频磁控溅射设备送样室进行抽真空；(2)预溅镀：分别对溅射腔中的镁靶材和铝靶材进行预溅镀；(3)送样：将镁合金基体送到溅射腔中样品台；(4)洗腔：开启溅射腔进气阀，调节高纯氩气流量和清洗时间；(5)加热基体：将所述镁合金基体进行加热，然后调整样品旋转台持续旋转；(6)溅镀：分别对镁靶材和铝靶材进行射频磁控溅射；(7)冷轧：对溅镀铝的单面进行冷轧处理，获得镁铝复合板。本发明方法制备的镁铝复合板综合性能比较优异，镁和铝之间的层界面实现完全的冶金结合，具有较高的结合强度。
声明：
“利用射频磁控制备镁铝复合板的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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