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钽靶材的制备工艺

887   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:51:01
本发明提供了一种钽靶材的制备工艺，包括以下步骤：A)，将钽粉进行等静压成型，得到钽坯；B)，将所述钽坯进行烧结，将烧结得到的钽坯进行轧制，将轧制得到的钽坯进行热处理，得到钽靶材。本发明通过粉末冶金的方法制得了钽靶材加工坯料，其优点是内部组织细小均匀，并得到了无织构的内部组织；再通过压力加工工艺与热处理工艺，获得了细小且均匀一致的内部组织，得到了满足高端溅射机台使用的钽靶材要求。
声明：
“钽靶材的制备工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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