权利要求
1.多孔金属薄膜的烧结装置,其特征在于,所述烧结装置包括:烧结支架、至少一个膜片吊装组件、至少两个隔离板以及至少一个卡箍组件;
所述烧结支架的顶部和底部分别设有上导轨和下导轨;
所述隔离板的上端和下端分别与所述上导轨和所述下导轨滑动连接;所述至少两个隔离板相互平行且竖直排列;每个所述隔离板上端均设有与所述膜片吊装组件对应的让位缺口;
所述膜片吊装组件安装在所述烧结支架的上方,用于吊装待烧结的金属薄膜的上端,使得所述金属薄膜位于两个所述隔离板之间且与所述隔离板平行;
所述卡箍组件设置于所述隔离板上,用于烧结所述金属薄膜时夹紧所有隔离板。
2.根据权利要求1所述的多孔金属薄膜的烧结装置,其特征在于,所述隔离板为多孔陶瓷板;
所述多孔陶瓷板的厚度范围为2毫米至5毫米;
所述多孔陶瓷板的平面度误差在1毫米以内;
所述多孔陶瓷板上每个孔的孔径范围为50微米至100微米;
所述多孔陶瓷板的高度及宽度分别比所述金属薄膜的高度及宽度大10毫米至50毫米。
3.根据权利要求2所述的多孔金属薄膜的烧结装置,其特征在于,所述多孔陶瓷板采用多孔氧化铝板、多孔氧化锆板或者多孔碳化硅板。
4.根据权利要求1-3任一所述的多孔金属薄膜的烧结装置,其特征在于,所述膜片吊装组件包括膜片吊装导轨以及多个膜片吊装夹;
所述膜片吊装导轨与烧结支架固定连接;
所述膜片吊装夹与所述膜片吊装导轨滑动连接。
5.根据权利要求4所述的多孔金属薄膜的烧结装置,其特征在于,所述隔离板的数量为N+1,每个所述膜片吊装组件包括N个所述膜片吊装夹;所述N为大于或等于5且小于或等于10的正整数。
6.根据权利要求4所述的多孔金属薄膜的烧结装置,其特征在于,所述膜片吊装导轨包括导轨本体;所述导轨本体上设有开口向下的条形凹槽;所述条形凹槽的内壁两侧各设有一个凸沿,且两个所述凸沿相互平行;
所述膜片吊装夹包括吊装夹本体;所述吊装夹本体的上端位于所述条形凹槽内,所述吊装夹本体的上端两侧各设有一个凸起,两个所述凸起的下端面分别与两个所述凸沿的上端面抵接;所述吊装夹本体的下端位于所述条形凹槽外,用于夹紧所述金属薄膜。
7.根据权利要求1-3任一所述的多孔金属薄膜的烧结装置,其
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