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挥发性渣气协同提纯多晶硅的方法

1085   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:50:29
本发明涉及一种提纯多晶硅的方法，具体涉及一种挥发性渣气协同提纯多晶硅的方法，属于冶金技术领域。本发明解决的技术问题是提供一种挥发性渣气协同提纯多晶硅的方法。该方法包括如下步骤：a、将原料硅与挥发性渣系造渣剂混合，在惰性气体氛围中加热至熔融，得到熔体；b、在熔体中吹入氨气混合气体，并保温反应60～120min，然后冷却、硅渣分离，得到提纯后的多晶硅。本发明方法，采用挥发性渣气协同提纯多晶硅，在多晶硅提纯过程中实现了氯化氧化氮化的协同作用，可在较短的处理时间内大幅度降低硅中硼杂质，进而大幅降低提纯能耗。
声明：
“挥发性渣气协同提纯多晶硅的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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