本发明为一种在硬质合金表面制备梯度硬质复合涂层的方法,使用双层辉光等离子体表面合金化设备,以氩气作为等离子体激发气体,首先使用难熔金属丝和石墨板制作的复合靶材作为源极,在硬质合金表面制备难熔金属及其碳化物复合渗层;然后通入四甲基
硅烷和氢气的混合气体,通过不断增加四甲基硅烷的流量,制备包含难熔金属碳化物和碳化硅的梯度复合涂层;最后再通入甲烷,逐渐增加甲烷流量并同时降低四甲基硅烷的流量,制备碳化硅、金刚石梯度复合涂层。本发明制备的涂层与基体间呈冶金结合,从基体到涂层热膨胀系数呈梯度分布,具有应力小、结合强度高的特点。同时整个涂层在一种装置中连续制备完成,工艺简单、成本低。
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