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新型CRALTI(Y)N薄膜及其制备方法

958   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:50:25
本发明涉及一种新型的CRALTI(Y)N薄膜及其制备方法。通过采用AL-Y合金靶材,获得了具有生产效率高、优良结合强度的CRALTI(Y)N薄膜,其含Y合金靶材成分为(按重量份数比):AL-Y合金靶(0稀土Y,通过高温熔制备AL-Y合金靶材或粉末冶金制备AL-Y合金靶材,并且使靶材中稀土Y含量满足0
声明：
“新型CRALTI(Y)N薄膜及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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