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镀膜件的制备方法及由该方法制得的镀膜件

1058   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:50:23
本发明提供一种镀膜件的制备方法，其包括如下步骤：提供基材；采用粉末冶金法，以金属铜粉和铁粉为原料制备铜铁复合靶；采用磁控溅射法，以铜铁复合靶为靶材在基材表面溅射形成铜铁合金层。本发明所述铜铁合金层的制备利用铜和铁原子同时溅射并沉积于基材表面以及较低的沉积温度，制备出超饱和的铜铁合金。所述镀膜件的制备方法工艺稳定、可靠且环保。本发明还提供一种由上述方法制得的镀膜件。
声明：
“镀膜件的制备方法及由该方法制得的镀膜件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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