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提高多晶硅的纯化和沉积效率的方法和装置

577   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:50:23
本发明提供了由诸如冶金级硅的不纯的硅来源商业规模地生产 含有一种或多种定制水平的n-型和p-型杂质的纯化多晶硅颗粒的方 法和装置。该纯化系统和方法包括：(1)一个或多个系列的设置有双 流化床的温控反应器或容器，其中转运固体和气体，以使得通过严 格控制温度和停留时间来实现固体硅的不同程度的纯化和沉积；(2) 分离和回收高熔点杂质的化合物，如FeSi和FeI2；(3)纯化、分离 和再循环四碘化硅；(4)在连续分馏塔中，由碘回流促进，分离和回 收较低沸点的液体杂质的碘化物，如AlI3；(5)在分馏塔的下游分离 和回收液体混合物中的非常细的固体微粒，包括杂质碘化物和元素 硅；(6)由工艺中的固体和液体碘化物杂质废物流的氧化回收输入 碘。
声明：
“提高多晶硅的纯化和沉积效率的方法和装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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