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电弧蒸发金属靶材、金属间化合物靶材和陶瓷靶材以制造Al-Cr-N涂层

961   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:50:20
本发明涉及借助粉末冶金制造的靶的电弧蒸发，其中成分以金属间化合物的形式存在。为了靶制造而采用以下粉末，该粉末包含第一金属间化合物和第二金属间化合物和/或第一陶瓷化合物和第二陶瓷化合物。
声明：
“电弧蒸发金属靶材、金属间化合物靶材和陶瓷靶材以制造Al-Cr-N涂层” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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