本申请涉及
粉末冶金材料的技术领域,具体公开了一种多元合金靶材及其制备方法。一种多元合金靶材,由以下原子百分比的元素组成,镍20‑35%、钒20‑25%、钼20‑25%、钨20‑35%。其制备方法:首先将钼粉与镍粉混料制备成MoNi合金粉末,再将MoNi合金粉末与其他粉末进行混料,最后进行HIP烧结和机加工。本申请制备的靶材具有致密度高,可达99%以上、合金化程度高,无气孔和偏析,组织均匀等优点。另外,本申请的制备方法能够使熔点不同的元素进行HIP烧结,并且能保证熔点不同的元素在靶材中所占比例达到要求。
声明:
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我是此专利(论文)的发明人(作者)